歡迎進入巨納集團官網(wǎng)
產(chǎn)品中心
高速3D激光共聚焦顯微鏡
NS3500三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3500是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現(xiàn)實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu)，如半導體晶片，F(xiàn)PD產(chǎn)品，MEMS設(shè)備，玻璃基板，材料表面等方面擁有優(yōu)質(zhì)的解決方案。 
Features & Benefits（性能及優(yōu)勢）：
-
高分辨無損傷光學3D測量 自動傾斜補償
-
實時共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式
-
多種光學變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
-
實時CCD明場和共聚焦成像 無樣品準備
-
自動聚焦
Software (軟件）：
Application field（應(yīng)用領(lǐng)域）：
NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析
Specification (規(guī)格）：
|
Model |
Microscope NS-3500 |
備注 |
|||||
|
Controller NS-3500E |
|||||||
|
物鏡倍率 |
10x |
20x |
50x |
100x |
150x |
||
|
觀察/ 測量范圍 |
水平 (H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
93 |
|
|
垂直 (V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
70 |
||
|
工作范圍: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
0.2 |
||
|
數(shù)值孔徑(N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
0.95 |
||
|
光學變焦 |
x1 to x6 |
||||||
|
總放大倍率 |
178x to 26700x |
||||||
|
觀察/測量光學系統(tǒng) |
針孔共聚焦光學系統(tǒng) |
||||||
|
高度測量 |
測量掃描范圍 |
精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S] |
注 1 |
||||
|
長掃描 : 10mm [NS-3500-T] |
|||||||
|
顯示分辨率 |
0.001 μm |
||||||
|
重復(fù)率 σ |
0.010 μm |
注 2 |
|||||
|
寬度測量 |
顯示分辨率 |
0.001 μm |
|||||
|
重復(fù)率 3σ |
0.02 μm |
注 3 |
|||||
|
幀記憶 |
像素 |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
|||||
|
單色圖像 |
12 bit |
||||||
|
彩色圖像 |
8-bit for RGB each |
||||||
|
高度測量 |
16 bit |
||||||
|
幀速率 |
表面掃描 |
20 Hz to 160 Hz |
|||||
|
線掃描 |
~8 kHz |
||||||
|
自動功能 |
自動增益 |
||||||
|
激光共焦測量光源 |
波長 |
405nm |
|||||
|
輸出 |
~2mW |
||||||
|
激光等級 |
Class 3b |
||||||
|
激光接收元件 |
PMT (光電倍增管) |
||||||
|
光學觀察光源 |
燈 |
10W LED |
|||||
|
光學觀察照相機 |
成像元件 |
1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 |
|||||
|
記錄分辨率 |
640x480 |
||||||
|
自動調(diào)整 |
增益, 快門速度, White balance |
||||||
|
數(shù)據(jù)處理單元 |
PC |
||||||
|
電源 |
電壓 |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
|||||
|
電流 |
500 VA max. |
||||||
|
重量 |
顯微鏡 |
Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
|||||
|
控制器 |
~8 kg |
||||||
|
隔振系統(tǒng) |
電子隔振器 |
Option |
|||||
精細和長距離掃描儀的雙重掃描模式僅適用于NS-3500-S（單鏡頭類型）。
注1:精細掃描由壓電執(zhí)行器（PZT）執(zhí)行。
注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（步長1μm）進行100次測量。
注 3 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（5μm間距）進行100次測量。
在線訂購
產(chǎn)品留言
相關(guān)產(chǎn)品
巨納集團
版權(quán)所有 ◎ 2022 香港巨納集團有限公司 滬ICP備2022034296號 新網(wǎng)提供技術(shù)支持
客服傳真
傳真：+86-21-60852363